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        晶體定向儀:
        0415-2155900
        傳真電話:
        0415-2155887
        無損探傷儀:
        0415-2150150
        傳真電話:
        0415-2151390
         
        YX-6FX射線晶體復檢儀

        用途:將粘接好的晶棒,連同料板一同拿到YX-6F定向儀上,料板底部靠在測角儀的基準面上,打開光閘進行復檢測量。YX-6F可對粘接好的晶棒進行X軸的復檢測量,測量后的結果可與YX-6D的打印結果進行對照,如有差異,可將晶棒從料板取下,重新粘接,大大保證了切割前晶棒的粘接精度。

        技術參數:

        X射 線 管

        銅靶,陽極接地,強迫風冷

        管 電 壓

        30KVP,全壓合閘

        管 電 流

        0---5mA,連續可調

        整 機 功 率

        不大于0.3KW

        定 向 精 度

        ±30″

        蝸輪運動誤差

        不大于30″

        計數器轉角度

        -10°------+100°

        樣品轉角度

        -10°------+50°

        計 數 管

        蓋革管,電壓600-----1100V

        時間常 數

        分0.1、0.4、3秒三檔可調

        保 護

        高壓連鎖保護,溫度保護

        狹 縫

        4′、5′、6′

        外 型 尺 寸

        1200mm×650mm×1100mm

        儀 器 重 量

        250KG

        測樣品直徑

        硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片;

        測晶棒長度

        硅單晶 Φ3—8英寸;500毫米長晶棒

         

         

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