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        晶體定向儀:
        0415-2155900
        傳真電話:
        0415-2155887
        無損探傷儀:
        0415-2150150
        傳真電話:
        0415-2151390
         
        YX-7M長晶棒定向儀


          針對客戶測量大直徑、長尺寸硅晶圓片、晶棒而設計,此儀器為雙工作位。

          標準配置如下:GA, GC測角儀。
            1、一側用于測3--8英寸晶圓片111、100面,還可測晶棒參考面(110)等角度。
            2、另一側用于測直徑5----8英寸,長800mm晶棒(111、100)晶面等角度。

          主要參數:

        項 目

        參 數

        晶棒直徑

        5---8英寸、最大11寸

        晶棒長度

        800 mm

        樣品板面積

        43寬×112高mm

        定向精度

        ±30″

        數顯方式

        θ:度;分;秒;最小讀數10″

        顯示器

        外置立式

        技術指標

        符合YX-2參數。

        尺 寸

        1210×810×1420 mm

         

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